中國 中微
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延伸文章資訊
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- 3产品技术 - 中微半导体
设备还采用了多区细分的高动态范围温控静电吸盘,使加工出的集成电路器件的关键尺寸达到高度均匀性。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。 产品 ...
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SHANGHAI, March 12, 2018 /PRNewswire/ -- This week at SEMICON China, Advanced Micro-Fabrication E...